发明名称 MULTIPHASE AC DRIVEN ELECTROSTATIC ACTUATOR
摘要
申请公布号 JPH0898563(A) 申请公布日期 1996.04.12
申请号 JP19940235242 申请日期 1994.09.29
申请人 KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKAD 发明人 HIGUCHI TOSHIRO;SHINNO TOSHIKI
分类号 H02N1/00;(IPC1-7):H02N1/00 主分类号 H02N1/00
代理机构 代理人
主权项
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