发明名称 Verfahren zur Reinigung von oxydierten metallischen Oberflächen in der Herstellung von Verbindungsnetzwerken und Schaltungsplatten für solche Netzwerke
摘要
申请公布号 DE69208743(T2) 申请公布日期 1996.07.25
申请号 DE19926008743T 申请日期 1992.06.12
申请人 FRANCE TELECOM, PARIS, FR 发明人 TEMPLIER, FRANCOIS, F-38000 GRENOBLE, FR;TORRES, JOAQUIM, F-38950 SAINT-MARTIN-LE-VINOUX, FR;PALLEAU, JEAN, F-38240 MEYLAN, FR
分类号 H01L21/304;C23C14/02;C23G5/00;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/48;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):C23G5/00;C23C16/50 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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