发明名称 藉钨惰气熔接以组合管件或分件之方法
摘要 一种可避免或限制两个包括管件并经熔接在一起之装置(该等包括管件之装置系经特殊设计而适于腐蚀性气体流过者)在其接合处发生腐蚀现象之方法,该方法包括下列诸步骤:a )提供一第二包括管件之装置并将其连接于一惰气源;b )用一包括实际上不超过10个十亿分点氧化气体(该氧化气体系选自一个族群,该族群系由氧气、二氧化碳、水蒸气或其混合物所组成)之惰气(该惰气自该包括管件之装置之第一个孔口流至该装置之第二个孔口)将该装置加以冲洗;c )于连续不断地冲洗第一包括管件之装置之同时,提供一可与该第一包括管件之装置相互流通之第二包括管件之装置;d )熔接该两个包括管件之装置,该项熔接工作系在一惰气环境中实施;及e )必要时,重复c步骤及d步骤。
申请公布号 TW285758 申请公布日期 1996.09.11
申请号 TW083110926 申请日期 1995.02.15
申请人 液态空气.乔治斯.克劳帝方法研究开发股份有限公司 发明人 小泽英一;亨瑞.谢佛莱;服部妙子;约翰.符瑞德;高木英树
分类号 H01L21/311 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人 甯育丰 台北巿敦化南路一段二三三巷三十四号四楼
主权项 1. 一种可避免或减低两个包括管件并经熔接在一起之装置(该等包括管件之装置系经特殊设计而适于腐蚀性气体流过者)在其接合区发生腐蚀现象之方法,该方法包括下列诸步骤:(a) 提供一第一包括管件之装置并将其连接于一惰气源;(b) 用一包括实际上不超过10个十亿分点氧化气体之惰气(该惰气自该包括管件之装置之第一个孔口流至该装置之第二个孔口)将该装置加以冲洗;(c) 于连续不断地冲洗第一包括管件之装置之同时,提供一可与第一包括管件之装置相互流通之第二包括管件之装置;(d) 熔接该两个包括管件之装置,该项熔接工作,系在氩气环境中实施,该氩气环境中包括之氧化气体实际上不超过10个十亿分点,该等氧化气体系选自:由氧气、二氧化碳、水气或其混合物所组成之族群;及(e) 必要时,重复c步骤及d步骤。2. 如申请利范围第1项之方法,其中,于冲洗包括管件之装置时,至少有一个包括管件之装置须经加热。3.如申请利范围第2项之方法,其中,每次仅加热一个包括管件之装置。4. 如申请利范围第1项之方法,其中,更包括一步骤,利用来自该第一包括管件之装置第二孔口之惰气冲洗该第二包括管件之装置,历经足够之时间,使离开该第二包括管件之装置之水气浓度达到低于约20个十亿分点。5.如申请利范围第1项之方法,其中,d)步骤熔接工作系在1500℃温度下,一氩气及氢气混合物之环境中实施,在该混合气体环境中氢气之浓度适当,所以,氧之分压为10@su-@su1@su1至10@su-@sua大气压。6. 如申请利范围第1项之方法,其中,将一腐蚀性气体导入一熔接之管线内,并与一使用地点相连接,但于该等包括管件之装置完成熔接至导入该腐蚀性气体之期间内,该管线并不先行曝露于任何包括超过10个十亿分点之气体,该气体系选自:由氧气、二氧化碳、水气或其混合物所组成之族群。图示简单说明:图1-A代表本发明合意方法之不同示意性步骤。图1-B所代表者系图1-A内(d)步骤轨道式钨惰气熔接之详细示意放大图。图2所代表者系对应于图1-A内的(d)步骤该等管件同时冲洗及熔接之示意图。图3系代表:于熔接点下游5公厘处,在不同反遮蔽气体之环境内,经已熔接之管件中之溴穿透深度。图4系代表:于数种反遮蔽气体如图上方所示环境内,熔解在经已熔接之管件之沥滤水中之金属元素浓度。图5系代表:在不同乾透情况下,腐蚀后,未经熔接及业
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