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发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPH08274078(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950076638 申请日期 1995.03.31
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KANEHARA SHIGERU
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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