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发明名称 DRY PROCESS COATING METHOD & APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR960014699(B1) 申请公布日期 1996.10.19
申请号 KR19930010563 申请日期 1993.06.10
申请人 SAKAE ELECTRONICS IND. K.K.;OHBA, KAZUO;SHIMA, YOSHINORI;OHBA, AKIRA 发明人 OHBA, KAZUO;SHIMA, YOSHINORI;OHBA, AKIRA
分类号 C23C16/50;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/511;C23C16/515;C23C16/54;H01J37/32;H01L21/31;H05K3/40;(IPC1-7):H05H15/00 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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