发明名称 Process for the deposition of a layer of polysilicon on silicon discs
摘要
申请公布号 IT1266502(B1) 申请公布日期 1996.12.30
申请号 IT1993RM00695 申请日期 1993.10.15
申请人 CONSORZIO EAGLE 发明人 FAMA FABRIZIO;MAZZER MAURIZIO
分类号 H01B 主分类号 H01B
代理机构 代理人
主权项
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