| 发明名称 |
Ansteuerung für mikromechanische und elektrostatisch betriebene Spiegelanordnungen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE29621318(U1) |
申请公布日期 |
1997.02.06 |
| 申请号 |
DE19962021318U |
申请日期 |
1996.12.07 |
| 申请人 |
CMS MIKROSYSTEME GMBH CHEMNITZ, 09577 NIEDERWIESA, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
G02B26/08;H02N2/06;(IPC1-7):B06B1/02;G02B26/00 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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