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发明名称 Treiber für ein piezoelektrisches Stellglied und Kontrollvorrichtung für den Verschluss, die eine piezoelektrische Vorrichtung benutzt
摘要
申请公布号 DE69215734(T2) 申请公布日期 1997.04.03
申请号 DE19926015734T 申请日期 1992.03.11
申请人 NIKON CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 GOTO, TETSURO, FUNABASHI-SHI, CHIBA-KEN, JP;KATAYAMA, AKIRA, KOGANEI-SHI, TOKYO, JP;TANABE, YOSHIAKI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;HASUDA, MASANORI, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 G03B7/10;G03B9/18;H01L41/04;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/04;G03B9/08;G03B7/083;G03B17/38;G03B9/06 主分类号 G03B7/10
代理机构 代理人
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