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发明名称 METHOD FOR PRODUCING A SUPERCONDUCTING CIRCUIT
摘要
申请公布号 KR970005160(B1) 申请公布日期 1997.04.12
申请号 KR19880005767 申请日期 1988.05.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND.KK. 发明人 FUJITA, NOBUHIKO;ITOZAKI, HIDEO;TANAKA, SABURO;FUJIMORI, NAOHARU;IMAI, TAKAHIRO;YOSHIDA, NORIYUKI
分类号 C23C14/22;C01B13/14;C01G1/00;C04B41/80;C23C14/58;H01B12/00;H01B13/00;H01L21/3205;H01L23/52;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
主权项
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