主权项 |
一种准分子激光器工作气体配送装置,用于激光器系统用多种高纯气体的供应,其特征在于,所述装置具有包括多路进气口的多路进气通道,用于实现对一个或多个放电腔的注气,还具有排气通道,用于实现对一个或多个放电腔的排气,所述装置还包括第一进气口(01)、第二进气口(02)、第三进气口(03)、第四进气口(04)、第一放电腔、第二放电腔和排气口(00),其中,第一进气通道包括:第一进气口(01)顺次连接第一手动隔膜阀(C1)、第一单向阀(D1)、第一气动隔膜阀(A1)和第一多通气动阀(B1),通过第一质量流量计、第五单向阀(D5)、第五气动隔膜阀(A5)、第五手动隔膜阀(C5)、第九气动隔膜阀(A9)、第七手动隔膜阀(C7)连接至第一放电腔,在第一多通气动阀(B1)后通过第二质量流量计、第六单向阀(D6)、第六气动隔膜阀(A6)、第六手动隔膜阀(C6)、第十气动隔膜阀(A10)、第八手动隔膜阀(C8)连接至第二放电腔,排气通道包括:第一放电腔内的气体依次通过第七手动隔膜阀(C7)、第九气动隔膜阀(A9)、第五手动隔膜阀(C5)、第七单向阀(D7)、第七气动隔膜阀(A7)、第九手动隔膜阀(C9)、尾气处理装置(F)、过滤器(G)、第十一气动隔膜阀(A11)或第十二气动隔膜阀(A12)或第九单向阀(D9),连接至排气口(00),第二放电腔内的气体依次通过第八手动隔膜阀(C8)、第十气动隔膜阀(A10)、第六手动隔膜阀(C6)、第八单向阀(D8)、第八气动隔膜阀(A8)、第九手动隔膜阀(C9)、尾气处理装置(F)、过滤器(G)、第十一气动隔膜阀(A11)或第十二气动隔膜阀(A12)或第九单向阀(D9),连接至排气口(00)。 |