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发明名称
Method and arrangement for determining the height of a surface when measuring the planarity of the surface
摘要
申请公布号
FI98959(B)
申请公布日期
1997.05.30
申请号
FI19950000748
申请日期
1995.02.17
申请人
SPECTRA-PHYSICS VISIONTECH OY
发明人
PAAKKARI, JUSSI;ALAPURANEN, PERTTI
分类号
G01B;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24
主分类号
G01B
代理机构
代理人
主权项
地址
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