发明名称 Method and arrangement for determining the height of a surface when measuring the planarity of the surface
摘要
申请公布号 FI98959(B) 申请公布日期 1997.05.30
申请号 FI19950000748 申请日期 1995.02.17
申请人 SPECTRA-PHYSICS VISIONTECH OY 发明人 PAAKKARI, JUSSI;ALAPURANEN, PERTTI
分类号 G01B;G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利