| 发明名称 | 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法及设备 | ||
| 摘要 | 一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法，采用通常的氢与甲烷的比例，甲烷占总流量的1-1.5％，混合气体流量10～200SCCM/cm<SUP>2</SUP>；保持反应区温度在2000～2600℃，其特征在于：将氢气对准钨丝，甲烷气对准两根钨丝之间的空档均匀地吹入反应区。本发明使设备钨丝的寿命可以得到很大提高。 | ||
| 申请公布号 | CN1160089A | 申请公布日期 | 1997.09.24 |
| 申请号 | CN96115163.3 | 申请日期 | 1996.03.20 |
| 申请人 | 中国科学院金属研究所 | 发明人 | 闻立时;黄荣芳;陈广超 |
| 分类号 | C23C16/26;C23C16/46 | 主分类号 | C23C16/26 |
| 代理机构 | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人 | 张晨 |
| 主权项 | 1.一种大面积高速度热丝化学气相沉积金刚石的方法，采用通常的氢与甲烷的比例，甲烷占总流量的1-1.5％，混合气体流量10～200SCCM/cm2；保持反应区温度在2000～2600℃，其特征在于：将氢气对准钨丝，甲烷气对准两根钨丝之间的空档均匀地吹入反应区。 | ||
| 地址 | 110015辽宁省沈阳市沈河区文化路72号 | ||