发明名称 METHOD FOR LOCAL PLASMA-CHEMICAL ETCHING OF MATERIAL
摘要
申请公布号 RU2091904(C1) 申请公布日期 1997.09.27
申请号 RU19950108003 申请日期 1995.05.17
申请人 VORONEZHSKIJ GOSUDARSTVENNYJ UNIVERSITET 发明人 ABRAMOV ALEKSANDR VLADIMIROVICH;DIKAREV YURIJ IVANOVICH;SUROVTSEV IGOR STEPANOVICH
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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