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发明名称 CONNECTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09320720(A) 申请公布日期 1997.12.12
申请号 JP19960162306 申请日期 1996.06.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 SUMI YOSHIYUKI;KAMATA SATOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R13/20;H01R33/76;H01R33/94;(IPC1-7):H01R33/76 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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