发明名称
摘要
申请公布号 JP2691993(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19880148326 申请日期 1988.06.17
申请人 发明人
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/11;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/824 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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