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发明名称
摘要
申请公布号 JP2692812(B2) 申请公布日期 1997.12.17
申请号 JP19870220326 申请日期 1987.09.04
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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