发明名称 DEVICE FOR PLATE ORIENTATION
摘要
申请公布号 RU2099815(C1) 申请公布日期 1997.12.20
申请号 RU19960117572 申请日期 1996.09.02
申请人 VORONEZHSKAYA GOSUDARSTVENNAYA TEKHNOLOGICHESKAYA AKADEMIYA 发明人 ABRAMOV GENNADIJ VLADIMIROVICH;BITYUKOV VITALIJ KSENOFONTOVICH;NAZINA LYUDMILA IVANOVNA;POPOV GENNADIJ VASILEVICH
分类号 H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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