| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1022495(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960170516 |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
MEIDENSHA CORP |
发明人 |
HANAKURA MITSURU;MORIKAWA YOSHIKI;MIURA TOSHINORI |
| 分类号 |
H01L29/744;H01L21/263;H01L21/322;H01L29/74;H01L29/749;(IPC1-7):H01L29/74 |
主分类号 |
H01L29/744 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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