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发明名称 ELECTRONIC COMPONENT
摘要
申请公布号 JPH1022417(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960174680 申请日期 1996.07.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAITO TOSHINAO
分类号 H01L21/60;H01L21/58;H01L23/13;H01L23/48;(IPC1-7):H01L23/13 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
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