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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1022272(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960176537 申请日期 1996.07.05
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 MIWA KAZUHIRO;AOYAMA MASAAKI;HIGUCHI KENICHI;NAGASE KUNIHIKO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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