发明名称 |
SEMICONDUCTOR WAVEGUIDE TYPE LIGHT-RECEIVING ELEMENT AND FABRICATION THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1065201(A) |
申请公布日期 |
1998.03.06 |
申请号 |
JP19970130042 |
申请日期 |
1997.05.20 |
申请人 |
FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE |
发明人 |
NISHIKATA KAZUAKI;HIRAIWA KOJI |
分类号 |
H01L21/306;H01L21/308;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 |
主分类号 |
H01L21/306 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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