发明名称 SEMICONDUCTOR WAVEGUIDE TYPE LIGHT-RECEIVING ELEMENT AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1065201(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19970130042 申请日期 1997.05.20
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 NISHIKATA KAZUAKI;HIRAIWA KOJI
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L31/10;(IPC1-7):H01L31/10 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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