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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1065116(A) 申请公布日期 1998.03.06
申请号 JP19960213462 申请日期 1996.08.13
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NARA YASUO
分类号 H01L29/78;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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