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发明名称 Vakuumbehandlungsanlage zum Aufbringen dünner Schichten auf dreidimensionale, schalenförmige oder prismatische Substrate
摘要
申请公布号 DE19642852(A1) 申请公布日期 1998.04.23
申请号 DE19961042852 申请日期 1996.10.17
申请人 LEYBOLD SYSTEMS GMBH, 63450 HANAU, DE 发明人 PATZ, ULRICH, DR., 63589 LINSENGERICHT, DE;ICKES, GERD, 63512 HAINBURG, DE
分类号 C23C14/24;B65G49/07;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/22;B65G47/52;B65G47/80;B65G49/06;H01G4/30 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
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