一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法

摘要

本发明涉及一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法，先将晶片进行粗磨，然后进行精磨，完毕后，如发现晶片边缘出现碎纹、碎裂、划伤、脱落等异常，则首先对铜盘进行擦拭，去除表面可能含有的颗粒残渣、晶片废渣等，然后向铜盘表面喷洒无水乙醇与去离子水的混合液，喷洒完毕后先旋转铜盘再开启研磨液将其均匀覆盖在铜盘表面，继续进行后续精磨作业。本发明操作简单，易实现，只需借助无水乙醇和去离子水即可实现改善蓝宝石衬底研磨碎裂、掉边和划伤等异常，成本较低，对整个减薄过程无影响，无需其他辅助设备、材料或部件，有效提高了铜盘使用寿命，降低了刻槽周期，从而降低产品成本。

主权项

一种改善LED用蓝宝石衬底研磨掉边的方法，其特征在于，具体步骤包括：(1)将待减薄的蓝宝石衬底进行粗磨；(2)对步骤(1)粗磨完成后的蓝宝石衬底进行精磨；(3)采用无水乙醇将研磨铜盘表面擦拭干净；(4)旋转所述研磨铜盘，同时向所述研磨铜盘的表面喷洒无水乙醇与去离子水的混合液，所述无水乙醇纯度大于等于99％，所述无水乙醇与去离子水的混合液中，所述无水乙醇与去离子水的体积比为(0‑0.5)：1；(5)对蓝宝石衬底进一步精磨。