发明名称 |
MANUFACTURE OR SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH10173200(A) |
申请公布日期 |
1998.06.26 |
申请号 |
JP19960352139 |
申请日期 |
1996.12.12 |
申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI NAOAKI |
分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/302 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|