| 摘要 |
본 고안은 반도체소자 제조 공정의 진공 라인에 주로 사용되는 아이솔레이션 밸브의 분해 및 조립을 용이하게 할 수 있도록 한 치구에 관한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 상부면 중앙에 나사산을 가지는 안내공(1)이 형성되고 하부면에는 밸브 안착면(2)이 형성되는 사각틀 구조의 치구 몸체(3)와 상기 치구 몸체(3) 상부면의 안내공(1)에 승강가능하게 결합되어 하강시 상·하부 밸브몸체(4a),(4b)가 서로 밀착되도록 밸브 뚜껑(5) 상면을 가압하게 되는 밸브 뚜껑 가압수단으로 구성된 반도체소자 제조 공정용 아이솔레이션 밸브 분해 및 조립용 치구이다. |
