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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FAULT DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10200071(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970001848 申请日期 1997.01.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO JUN
分类号 H01L27/108;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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