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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10199994(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19970004542 申请日期 1997.01.14
申请人 SONY CORP 发明人 KAMIMURA KAZUHITO
分类号 H01L21/8247;H01L21/265;H01L21/8238;H01L27/092;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/824 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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