| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH10199872(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
| 申请号 |
JP19970001771 |
申请日期 |
1997.01.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KATOU KIYOTAKA;ASAOKA MINORU;TAKAMATSU AKIRA |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
