发明名称 |
SEMICONDUCTOR THIN-FILM ELEMENT AND ITS MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10199811(A) |
申请公布日期 |
1998.07.31 |
申请号 |
JP19960357802 |
申请日期 |
1996.12.28 |
申请人 |
HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
OBATA TSUTOMU;NOMURA KAZUO |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/203;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/203 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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