发明名称 SEMICONDUCTOR THIN-FILM ELEMENT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10199811(A) 申请公布日期 1998.07.31
申请号 JP19960357802 申请日期 1996.12.28
申请人 HOKURIKU ELECTRIC IND CO LTD 发明人 OBATA TSUTOMU;NOMURA KAZUO
分类号 H01L29/73;H01L21/203;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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