发明名称 MANUFACTURE OF CONDUCTIVE CIRCUIT BOARD
摘要
申请公布号 JPH10209586(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970327010 申请日期 1997.11.12
申请人 SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 FUKUSHIMA MOTOO;TABEI EIICHI;ARAMATA MIKIO;MORI SHIGERU
分类号 H05K1/09;C23C26/00;H01L21/3205;H01L23/52;H05K3/02;H05K3/24;(IPC1-7):H05K1/09;H01L21/320 主分类号 H05K1/09
代理机构 代理人
主权项
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