发明名称 |
MANUFACTURE OF CONDUCTIVE CIRCUIT BOARD |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10209586(A) |
申请公布日期 |
1998.08.07 |
申请号 |
JP19970327010 |
申请日期 |
1997.11.12 |
申请人 |
SHIN ETSU CHEM CO LTD |
发明人 |
FUKUSHIMA MOTOO;TABEI EIICHI;ARAMATA MIKIO;MORI SHIGERU |
分类号 |
H05K1/09;C23C26/00;H01L21/3205;H01L23/52;H05K3/02;H05K3/24;(IPC1-7):H05K1/09;H01L21/320 |
主分类号 |
H05K1/09 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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