发明名称 TFT SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH10209429(A) 申请公布日期 1998.08.07
申请号 JP19970008872 申请日期 1997.01.21
申请人 SONY CORP 发明人 MUKAI MIKIO
分类号 H01L29/417;H01L21/338;H01L29/786;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/417 主分类号 H01L29/417
代理机构 代理人
主权项
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