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发明名称
TFT SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH10209429(A)
申请公布日期
1998.08.07
申请号
JP19970008872
申请日期
1997.01.21
申请人
SONY CORP
发明人
MUKAI MIKIO
分类号
H01L29/417;H01L21/338;H01L29/786;H01L29/812;(IPC1-7):H01L29/417
主分类号
H01L29/417
代理机构
代理人
主权项
地址
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