发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH10270571(A) 申请公布日期 1998.10.09
申请号 JP19970074212 申请日期 1997.03.26
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 AIZAWA HIROKI
分类号 H01L27/11;H01L21/8244;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L27/11
代理机构 代理人
主权项
地址