| 主权项 |
1.一种基板处理装置,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:第1装备,在特定基板附上对应识别资讯;第2装备,使前述特定基板在前述分歧部位中用以认识搬送到前述并列处理线之其中之一的处理线;第3装备,除了前述特定基板被搬送之前述处理线之外对前述并列处理线之全部处理线的特定基板附与前述识别资讯;及第4装备,在前述合流部位中使附上对应前述识别资讯之基板用以认识由前述并列处理线之任意处理线被搬送而来之事;而在前述合流部位中附上对应前述识别资讯之基板中仅对于依预定顺序通过之基板做为有效前述识别资讯加以判定,而将附上对应于其他基板之前述识别资讯做为无效。2.一种基板处理装置,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:第1装备,将每批之最后面的基板做为特定基板,并在该特定基板附上对应识别资讯;第2装备,使前述特定基板在前述分歧部位中用以认识被搬送到前述并列处理线之其中之一处理线;第3装备,根据前述第2装备在前述特定基板之认识时除了前述最后面之基板被搬送的前述处理线之外在存在于前述并列处理线之全部处理线中之最后面的基板附上对应前述识别资讯;及第4装备,在前述合流部位中使附上对应前述识别资讯之基板用以认识由前述并列处理线之任意处理线被搬送而来之事;而在前述合流部位中附上对应前述识别资讯之基板中仅对最后通过之基板做为有效前述识别资讯加以判定,并将附上对应于其他之基板的前述识别资讯做为无效。3.如申请专利范围第1项之基板处理装置,系具有:记忆装备,具有对应于各处理线之记忆领域;及传达装备,根据基板之搬送状况,在前述记忆领域间用以传达前述识别资讯。4.如申请专利范围第2项之基板处理装置,系具有:记忆装备,具有对应于各处理线之记忆领域;及传达装备,根据基板之搬送状况,在前述记忆领域间用以传达前述识别资讯。5.如申请专利范围第1至4项中之任一项的基板处理装置,其中第4装备进而具备有等待装备,由前述并列处理线之全部处理线用以认识搬送附上对应前述识别资讯之基板而来为止之间,已经由搬送附上对应前述识别资讯之基板而来的处理线进而在搬送基板而来时使该基板暂时等待。6.如申请专利范围第5项之基板处理装置,系使存在于前述等待装备以前之处理线的基板数达到前述等待装备之基板可收容剩余量时,由基板供给装置用以停止新的基板之搬出者。7.如申请专利范围第1至4项中任一项之基板处理装置,系在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。8.如申请专利范围第5项之基板处理装置,系在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。9.如申请专利范围第6项之基板处理装置,系在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。10.一种基板处理方法,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备育:第1制程,在特定基板附上对应识别资讯;第2制程,使前述特定基板在前述分歧部位中用以认识搬送到前述并列处理线之其中之一的处理线;第3制程,除了前述特定基板被搬送之前述处理线之外对前述并列处理线之全部处理线的特定基板附上对应前述识别资讯;及第4制程,在前述合流部位中由前述并列处理线之任意处理线用以认识搬送附上对应前述识别资讯之基板而来,其中仅对于依预定顺序通过之基板做为有效前述识别资讯加以判定,而将附上对应于其他基板之前述识别资讯做为无效。11.一种基板处理方法,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:第1制程,将每批之最后面的基板做为特定基板,并在该特定基板附上对应识别资讯;第2制程,使前述特定基板在前述分歧部位中用以认识被搬送到前述并列处理线之其中之一处理线;第3制程,根据前述第2制程在前述特定基板之认识时除了前述特定基板被搬送的前述处理线之外在存在于前述并列处理线之全部处理线中之最后面的基板附上对应识别资讯;及第4制程,在前述合流部位中由前述并列处理线之任意处理线用以认识搬送附上对应前述识别资讯之基板而来,其中仅对于最后通过之基板做为有效前述识别资讯加以判定,而将附上对应于其他基板之前述识别资讯做为无效。12.如申请专利范围第10项之基板处理方法,其中系根据基板之搬送状况,将前述识别资讯在对应于各处理线之记忆领域间进行传达者。13.如申请专利范围第11项之基板处理方法,其中系根据基板之搬送状况,将前述识别资讯在对应于各处理线之记忆领域间进行传达者。14.如申请专利范围第10至13项中之任一项的基板处理方法,系由前述并列处理线之全部处理线用以认识搬送附上对应前述识别资讯之基板而来为止之间,已经由搬送附上对应前述识别资讯之基板而来的处理线进而在搬送基板而来时使该基板暂时等待于基板收容机构者。15.如申请专利范围第14项之基板处理方法,其中使存在于前述基板收容机构以前之处理线的基板数达到前述基板收容机构之基板可收容剩余量时,由基板供给装置用以停止新的基板之搬出者。16.如申请专利范围第10至13项中任一项之基板处理方法,其中在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。17.如申请专利范围第14项中基板处理方法,其中在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。18.如申请专利范围第15项之基板处理方法,其中在前述并列处理线之任意处理线发生异常时,由基板供给装置将基板搬出周期比异常发生前做为更长者。19.一种基板处理装置,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:号码附加装备,由前述分歧部位在上流侧之位置中将基板搬送到下流时,根据基板之搬出的顺序附上对应号码资讯;记忆装备,前述合流部位中在下流用以搬送基板时,用以记忆附上对应于该基板之前述号码资讯;及复数之基板收容装备,由前述并列处理线在前述合流部位可用以收容设于引导基板位置之基板;而前述合流部位,系由复数之基板收容装备将被供给之基板记忆于前述记忆装备根据前述号码资讯搬送到下流者。20.如申请专利范围第19项之基板处理装置,其中前述基板收容装备,系具备号码资讯发送配备,将附上对应于收容之基板的前述号码资讯对前述合流部位加以发送,而前述合流部位,系由前述号码资讯发送配备使取得该基板之号码资讯及记忆于前述记忆装备之号码资讯显示预定之关系时由前述基板收容装备接受该基板,而由前述号码资讯发送配备使取得该基板之号码资讯及记忆于前述记忆装备之号砣资讯未显示预定之关系时在前述基板收容装备使该基板等待者。21.如申请专利范围第19或20项之基板处理装置,系在前述合流部位中用以认识附上对应于各批之最后面基板的识别资讯之装备,而前述合流部位中附上对应前述识别资讯之基板中仅对于最后通过之基板做为有效前述识别资讯并加以判定,而附上对应于其他之基板的前述识别资讯做为无效,同时将做为有效被判定之基板搬送到下流时,将记忆于前述记忆装备之前述号码资讯修正为预定値者。22.一种基板处理装置,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:号码附加装备,由前述分歧部位在上流侧之位置中将基板搬送到下流时,将附上对应于每批之整批号码及根据前述基板搬出之顺序的号码资讯附上对应于该基板;基板收容装备,可用以收容基板并设于前述合流部位之下流侧;及记忆部,由前述基板收容装备用以搬送基板于下流时用以记忆附上对应于该基板之前述整批号码及前述号码资讯;而前述基板收容装备,系由上流将被供给之基板记忆于前述记忆部并根据前述整批号码及前述号码资讯搬送到下流者。23.如申请专利范围第22项之基板处理装置,其中前述基板收容装备,系由上流使取得基板之前述整批号码及前述号码资讯,及记忆于前述记忆部之前述整批号码及前述虽码资讯显示预定之关系时将该基板搬送于下流,而由上流使取得基板之前述整批号码及前述号码资讯,及记忆于前述记忆部之前述整批号码及前述号码资讯未显示预定之关系时将该基板加以收容并使等待者。24.如申请专利范围第22或23项之基板处理装置,其中前述基板收容装备,系具备有:识别资讯认识配备,用以认识附上对应于各批之最后面基板的识别资讯;及条件搬送配备,由上流对于取得之基板的整批号码及号码资讯,加以收容并使等待之基板用以比较整批号码及号码资讯,并将满足预定条件之基板搬送到下流;而由上流在取得之基板附加前述识别资讯时,系藉由前述条件搬送配备进行搬送,同时根据必要将前述识别资讯在其他基板进行更换,将附加前述识别资讯之基板搬送到下流时,将记忆于前述记忆部之前述号码资讯修正为预定値者。25.一种基板处理方法,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:号码附加制程,由前述分歧部位在上流侧之位置中将基板搬送到下流时,根据前述基板之搬出的顺序附上对应号码资讯;记忆制程,在前述合流部位中搬送基板于下流时,用以记忆附上对应于该基板之前述号码资讯;及搬送制程,在前述合流部位中由上流将所供给基板根据前述记忆制程中记忆之前述号码资讯搬送到下流。26.如申请专利范围第25项之基板处理方法,其中前述搬送制程,系具有:前述合流部位中由上流取得基板之号码资讯及前述记忆制程中记忆之号码资讯显示预定之关系时由上流接受前述基板,并搬送到下流之制程;及前述合流部位中由上流取得基板之号码资讯及前述记忆制程中记忆之号码资讯未显示预定之关系时由上流使前述基板等待之制程。27.如申请专利范围第25或26项之基板处理方法,具有:前述合流部位中用以认识附上对应于各批之最后面的基板之识别资讯的制程;前述合流部位中附上对应前述识别资讯之基板中仅对于最后通过之基板做为有效前述识别资讯加以判定,并将附上对应于其他基板之前述识别资讯做为无效的制程;及将做为前述有效被判定之基板搬送到下流时,在前述记忆制程中将记忆之前述号码资讯修正为预定値的制程。28.一种基板处理方法,系使配置于直列式的直列处理线在预定之分歧部位中分歧成配置于并列式的并列处理线,并使该并列处理线在预定之合流部位中加以合流,其特征在于具备有:号码附加制程,由前述分歧部位在上流侧之位置中将基板搬送到下流时,将附上对应于每批之整批号码及将基板根据搬出于下流之顺序的号码资讯附上对应于该基板;记忆制程,设于前述合流部位之下流侧的基板收容部中搬送基板到下流时用以记忆附上对应于该基板之前述整批号码及前述号码资讯;及搬送制程,前述基板收容部中由上流将被供给基板以前述记忆制程根据记忆之前述整批号码及前述号码资讯送到下流。29.如申请专利范围第28项之基板处理方法,其中前述搬送制程系具有:由上流使取得基板之前述整批号码及前述号码资讯,及前述记忆制程中记忆之前述整批号码及前述号码资讯显示预定之关系时将该基板搬送于下流的制程;及由上流使取得基板之前述整批号码及前述号码资讯,及前述记忆制程中记忆之前述整批号码及前述号码资讯未显示预定之关系时将该基板加以收容并使等待之制程。30.如申请专利范围第28或29项之基板处理方法,其中前述搬送制程系具备有:用以认识附上对应于各批之最后面基板的识别资讯之制程;由上流对于取得之基板的整批号码及号码资讯,及对于收容于前述基板收容部并使等待之基板用以比较整批号码及号码资讯,并将满足预定条件之基板搬送到下流的制程;根据必要将前述识别资讯在其他基板进行更换之制程;及将附加前述识别资讯之基板搬送到下流时,将记忆于前述记忆部之前述号码资讯修正为预定値的制程。图式简单说明:第一图系显示本发明实施形态之基板处理装置的概念构成图。第二图系显示本发明实施形态之基板处理装置的概念图。第三图系本发明之基板处理装置的分歧装置之流程图。第四图系本发明之基板处理装置的统合装置之流程图。第五图系显示本发明实施形态之基板处理装置的说明图。第六图系显示本发明实施形态之基板处理装置的说明图。第七图系显示本发明之基板处理装置一构成例的装置构成图。第八图系显示本发明之基板处理装置的基板搬送机构之斜视图。第九图系具有本发明之基板处理装置的总括CPU时之概念图。第十图系显示比本发明之基板处理装置的统合装置更下流中发生异常时之动作说明图。第十一图系本发明之基板处理装置的统合装置、分歧装置、FIFO储存缓冲器之流程图。第十二图系显示本发明之基板处理装置的单方之线中发生异常时之动作说明图。第十三图系本发明之基板处理装置的分歧装置之流程图。第十四图系显示本发明第2实施形态之基板处理装置的概念构成图。第十五图系对于本发明第2实施形态为了说明基板号码之说明图。第十六图系本发明第2实施形态之基板处理装置中之统合装置的流程图。第十七图系本发明第2实施形态之基板处理装置中为了说明基板之流程的说明图。第十八图系显示将本发明第2实施形态之基板处理装置的处理内容沿着基板之搬送流程的流程图。第十九图系本发明第2实施形态中为了说明基板抽出时之基板流程的说明图。第二十图系显示本发明第3实施形态之基板处理装置的概念构成图。第二十一图系对于本发明第3实施形态为了说明基板号码及整批号码之说明图。第二十二图系本发明第3实施形态之基板处理装置中之缓冲器BF的流程图。第二十三图系显示将本发明第3实施形态之基板处理装置的处理内容沿着基板之搬送流程的流程图。第二十四图系本发明第3实施形态中为了说明基板抽出时之基板流程的说明图。第二十五图系本发明第3实施形态中混在不同批之基板时为了说明基板之流程的说明图。第二十六图系仅由配置于先前之直列式之直列处理线所构成之基板处理装置的概念图。第二十七图系含有配置于先前之并列式之并列处理线的基板处理装置之概念图。 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