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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH10335600(A) 申请公布日期 1998.12.18
申请号 JP19970148106 申请日期 1997.06.05
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAZAKI YASUSHI
分类号 H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
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