| 发明名称 |
PROCEDE DE SEPARATION D'AU MOINS DEUX ELEMENTS D'UNE STRUCTURE EN CONTACT ENTRE EUX PAR IMPLANTATION IONIQUE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2756847(B1) |
申请公布日期 |
1999.01.08 |
| 申请号 |
FR19960015089 |
申请日期 |
1996.12.09 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
BRUEL MICHEL;DI CIOCCIO LEA |
| 分类号 |
H01L21/265;C30B31/22;C30B33/00;G01L1/14;G01L9/00;H01L21/02;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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