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发明名称
摘要
申请公布号 JP2845226(B2) 申请公布日期 1999.01.13
申请号 JP19960314664 申请日期 1996.11.26
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 OONO KAZUHIKO
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/603 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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