发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur analytischen Überwachung eines Bades zur galvanotechnischen Behandlung von Substratoberflächen
摘要
申请公布号 DE19731184(A1) 申请公布日期 1999.01.14
申请号 DE19971031184 申请日期 1997.07.10
申请人 ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE 发明人 BELE, MARJAN, LJUBLJANA, SI;BESENHARD, JUERGEN OTTO, PROF. DR., GRAZ, AT;PEJOVNIK, STANE, DR., LJUBLJANA, SI;MEYER, HEINRICH, DR., 14109 BERLIN, DE
分类号 G01N27/26;C25D3/02;C25D5/54;C25D21/12;G01N27/60;G01N31/16;H05K3/00;H05K3/38;H05K3/42;(IPC1-7):C25D21/12;G01P5/08 主分类号 G01N27/26
代理机构 代理人
主权项
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