发明名称 SISTEMA CATODICO PARA UN DISPOSITIVO DE PULVERIZACION SOBRE UN OBJETO.
摘要 EN UNA DISPOSICION DE CATODO EN UN DISPOSITIVO PARA PULVERIZACION DE UN OBJETIVO (49 O 50) CON UN YUGO (22,23) MAGNETICO Y CON HILERAS DE IMANES (33,34,53,54 O 35,36,55,56) PERMANENTES DISPUESTOS ENTRE EL OBJETIVO Y EL YUGO MAGNETICO ASI COMO CON UN SOPORTE (A O B) PARA SUJECION DEL YUGO (22 O 23) MAGNETICO EN UNA PARTE (5) DE PARED DE LA CAMARA (6) DE VACIO, EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO SOPORTADO DE FORMA FIJA SE APOYA SOBRE SU LADO CON RESPECTO AL OBJETIVO (49 O 50) EN UNA LEVA O UN PAR (43,44 O 43'',44'') DE LEVAS POR MOTIVOS DE SUJECION CONJUNTA DE LAS PARTES INDIVIDUALES DEL CATODO (3 O 4). LAS LEVAS O EL PAR DE LEVAS SE APOYAN POR SU LADO EN UNA PLACA (41 O 42) CABEZAL, QUE ESTA UNIDA CON UN JUEGO ADECUADO CON EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO A TRAVES DE UN TORNILLO O UN PERNO (67,67'',...) ELASTICOS. EN AMBOS LADOS DEL YUGO (22 O 23) MAGNETICO SE HAN PREVISTO LISTONES (37,38 O 39,40) DE GARRA O DE GRAPA CONFIGURADOS EN FORMA DE U, EN LAS PARTES (59 HASTA 66) DE BORDE CON FORMA DE GARRA O DE PATILLA ESTAN DISTANCIADAS LATERALMENTE AGARRANDO POR UN LADO LA PLACA (41 O 42) CABEZAL Y POR OTRO LADO EL YUGO (22 O 23) MAGNETICO Y/O LA PLACA (51 O 52) POSTERIOR DEL OBJETIVO.
申请公布号 ES2124048(T3) 申请公布日期 1999.01.16
申请号 ES19960106041T 申请日期 1996.04.18
申请人 BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, DR.;MARQUARDT, DIETER
分类号 C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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