| 主权项 |
1.一种单体多层压电式驱动器之制造方法,其特征为:-将含有黏合剂并具20至200m厚度之压电陶瓷未加工薄膜(5)在其一面上以各层电极材料(3)印刷,-将经印刷之压电陶瓷未加工薄膜松弛式地相互层叠而形成具有3mm最大高度之第一堆叠,因此使交替顺序的压电陶瓷未加工薄膜和电极材料产生在该层中,-使用单轴向压缩,将各第一堆叠层合而形成第一复合物,-在昇高之温度下,使第一复合物不含黏合剂,-将许多此等复合物(FT,MT,KT)(自其中已移除黏合剂)相互堆叠至超过5mm的总高度并存单轴向压力下予以烧结,则具有所需要数目的个别层之压电式驱动器即可获得。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中-设置所需基本区域之n倍大的压电陶瓷未加工薄膜并予以印刷,以及-在移除黏合剂前,将经层合之第一复合物经由切割或冲压分割成为具有所需基本区域的n个复合物。3.根据申请专利范围第1或第2项之方法,其中相互堆叠和在压力下之烧结系在冲模(9)中进行。4.根据申请专利范围第1或第2项之方法,其中压电陶瓷未加工薄模包括PZT,以及烧结系在氧化大气中进行。5.根据申请专利范围第1或2项之方法,其中烧结系在10至100kpa的恒压下进行。6.根据申请专利范围第3项之方法,其中烧结系在10至100kpa的恒压下进行。7.根据申请专利范围第4项之方法,其中烧结系在10至100kpa的恒压下进行。8.根据申请专利范围第1至第2项之方法,其中压电式驱动器系自不同复合物(其包括至少一个顶部份(KT),一个中间部份(MT)和一个底部份(FT))所组合成。9.根据申请专利范围第1或第2项之方法,其中压电式驱动器系自具有电极结构之许多复合物所组合成,此电极结构本质上是均匀的但是随各个复合物之不同而不同。10.根据申请专利范围第1或2项之方法,其中-将由含有银和钯之糊所制成之电极层施加至未加工薄膜上,-烧结系在1130℃的最大温度时,于氧化大气中进行。图式简单说明:第一图显示:经印刷以电极材料之未加工薄膜平面图。第二图以示意截面:已印刷之未加工薄膜的堆叠。第三图显示:随着层合后此堆叠之透视图(=第一复合物)。第四图至第六图显示:不同构造之复合物,它相当于随后压电式驱动器中之不同驱域。在每一情况中,显示:沿着第三图之斜线A-B之一个截角。第七图显示:一个模子中之各种复合物的排列及第八图显示:经配置以电连接之成品压电式驱动器。 |
