发明名称
摘要
申请公布号 JP2894283(B2) 申请公布日期 1999.05.24
申请号 JP19960167681 申请日期 1996.06.27
申请人 NIPPON DENKI KK 发明人 KODAMA NORYUKI
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/417;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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