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发明名称
STRUCTURE OF MULTI-LAYER WIRING AND MANUFACTURE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH11176835(A)
申请公布日期
1999.07.02
申请号
JP19970342503
申请日期
1997.12.12
申请人
HITACHI LTD
发明人
KUBO MASANORI
分类号
H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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