| 主权项 |
1.一种目检装置之目镜倍率切换控制电路,包括有一接物镜、一透镜承载盘,该透镜承载盘上设有数个不同倍率之接目镜,使用者藉由一控制电脑下达指令信号,以在一控制电路之控制之下,由一步进马达带动该透镜承载盘,以选定其中一个接目镜作晶圆之检视,该控制电路包括有:一时脉产生电路,用以产生一时脉信号;一感测装置,用以侦测该透镜承载盘之转动状况,并将其感测到之信号送到比较电路中;一界面电路,接收该控制电脑之信号输出埠所送出之指令信号;一比较电路,接收感测装置所送来之信号并将该信号与控制电脑经由界面电路所送来之指令信号相比较,以送出一输出信号;一解码电路,接收该时脉产生电路所产生之时脉信号以及接收由比较电路所送来之输出信号,并产生一控制信号;一驱动电路,依据解码电路所送出之控制信号,产生驱动信号,用以驱动该步进马达之转动,使步进马达带动透镜承载盘转动,直到所选定之透镜转动至观察定位,以供晶圆之检视。2.如申请专利范围第1项所述之目检装置之目镜倍率切换控制电路,其中该感测装置包括有一与该透镜承载盘同轴之编码轮、以及用以侦测该编码轮转动状况之光学感测元件。3.如申请专利范围第1项所述之目检装置之目镜倍率切换控制电路,其中该界面电路系一并列信号传送界面,连接于控制电脑与比较电路之间,用以传送该控制电脑之信号输出埠所送出之指令信号至比较电路中。图式简单说明:第一图系习知晶圆检视器之立体图。第二图系本发明晶圆检视装置之立体图。第三图系本发明晶圆检视装置之顶视示意图。第四图系本创作之控制电路方块图。第五图系本创作之实施例详细控制电路图。 |
