| 主权项 |
1.一种输送超高纯度气体之方法,系由第一站到第一站末梢端之第二站,此方法包含的步骤为:(a)提供一个超高纯度液体之来源,此超高纯度液体之特性系在室温下以大于大气压之蒸气压所液化,且此来源具有一源压力;(b)由此来源输送超高纯度液体,到一个或数个超高纯度液体产生相变之设备,而在压力小于源压力下,形成超高纯度气体;(c)在一个或数个产生相变之设备,超高纯度液体产生一种相改变,而生成一种超高纯度气体,此产生相变之设备具有一种设备,系使产生相变之压力,小于源压力但高于第二站压力;及(d)连接超高纯度气体,由产生相变设备,到第二站,此第二站以在或接近使用点较佳。2.根据申请专利范围第1项之方法,其中此来源具有充分之压力及温度,使得此液体大体上维持在液态。3.根据申请专利范围第1项之方法,其中此来源是一大型来源。4.根据申请专利范围第1项之方法,其中输送步骤是利用帮浦泵送达成。5.根据申请专利范围第1项之方法,其中输送步骤是利用该来源压力达成。6.根据申请专利范围第1项之方法,其中产生相变之步骤,是利用加热超高纯度液体达成。7.根据申请专利范围第1项之方法,其中产生相变之步骤,是依据使用点之需要而完成。8.根据申请专利范围第1项之方法,其中超高纯度液体,被输送到数个相变设备,该每一产生该相变之设备供应一个相关的使用点。9.根据申请专利范围第1项之方法,其中输送步骤及产生相变步骤,是在双层承装设备中完成。10.根据申请专利范围第1项之方法,其中于该产生相变设备之产生相变步骤,是经由电加热相变设备而达成。11.根据申请专利范围第1项之方法,其中产生相变之设备是如此运作,使得超纯液体在或接近平衡状态下,由液相变成气相。12.一种输送超高纯度气体之系统,由第一站到第一站末梢之第二站,此系统包含:(a)一个容器,适于充填至少部分之超高纯度液体,此超高纯度液体具有之特性,系于室温下以比大气压高之蒸气压所液化,此容器具有抵抗足以使超高纯度液体大体上能充分保持为液态的压力及温度之机械强度;(b)一种设备,用来输送超高纯度液体由容器到一个或数个使超高纯度液体形成超高纯度气体的相变设备,这些输送设备具有第一及第二端点,第一端点连接至一个或数个超高纯度液体容器,且在第二端点连接一个或数个产生相变之设备;(c)一个或数个产生相变设备,经由输送设备连接容器,每一个产生相变设备,包含足以使超高纯度液体在一个或数个产生相变设备内汽化而形成超高纯度气体之设备;及(d)连接每一个相变组件到一个产生相变设备末梢的站之管线。13.根据申请专利范围第12项之系统,其中此使超-高纯液体产生一种相变之设备,装有在或接近平衡状态产生该相变之设备。14.根据申请专利范围第12项之系统,其中容器之供应,及经由多个所谓输送设备,而连接到数个用以形成该超高纯度气体的该超高纯度液体之相变设备。15.根据申请专利范围第12项之系统,其更包含在该产生相变设备下游之压力调节器,以控制-高纯度气体流到使用点之压力。16.根据申请专利范围第12项之系统,其中此产生相变之设备是装在一个柜子里。17.根据申请专利范围第12项之系统,其中此输送设备以及产生相变之设备,系以双层壁建构。图式简单说明:第一图是依据本发明方法和系统之流程图。 |
