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发明名称 FORMATION OF SILICON THIN FILM AND MANUFACTURE OF INK JET HEAD
摘要
申请公布号 JPH11283929(A) 申请公布日期 1999.10.15
申请号 JP19980081161 申请日期 1998.03.27
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TANAKA SHINICHI
分类号 B41J2/16;B41J2/14;B81C1/00;H01L21/22;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223 主分类号 B41J2/16
代理机构 代理人
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