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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11297931(A) 申请公布日期 1999.10.29
申请号 JP19980095815 申请日期 1998.04.08
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 OGAWA SHIGEO;HIRATA AKIHIKO;HENMI MANABU;MACHIDA KATSUYUKI;OFUJI SHINICHI;UNNO HIDEYUKI;MAEDA MASAHIKO;TAKEDA TADAO
分类号 H01L21/822;H01L27/04;H01L27/10;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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