发明名称 SPUTTER DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11340166(A) 申请公布日期 1999.12.10
申请号 JP19980140794 申请日期 1998.05.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 HIRASAWA SHIGEKI;SAITO TATSUYUKI;YAMAGUCHI HIDE
分类号 C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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