| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR SINGLE-WAFER-PROCESSING EPITAXIAL GROWTH |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11340142(A) |
申请公布日期 |
1999.12.10 |
| 申请号 |
JP19980149192 |
申请日期 |
1998.05.29 |
| 申请人 |
MITSUBISHI MATERIALS SILICON CORP |
发明人 |
YAMAOKA TOMONORI;SHINYASHIKI HIROSHI;HASEGAWA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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