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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11354538(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19980159073 申请日期 1998.06.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KAWASHIMA KATSUHIKO;MASATO HIROYUKI;MAEDA MASAHIRO;UDA TOMOYA;TANABE MITSURU;FUJIMOTO KAZUHISA
分类号 H01L29/812;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
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