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发明名称 DRY ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH11354496(A) 申请公布日期 1999.12.24
申请号 JP19990136231 申请日期 1999.05.17
申请人 TOYODA GOSEI CO LTD;TOYOTA CENTRAL RES & DEV LAB INC;JAPAN SCIENCE & TECHNOLOGY CORP 发明人 KOTAKI MASAHIRO;MANABE KATSUHIDE;MORI MASAKI;HASHIMOTO MASAFUMI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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